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华卓精科:中国光刻机核心零部件顶尖供应商

发布人:北京华卓精科科技股份有限公司 发布时间:2018-05-04 浏览次数:3516


华卓精科的核心战略产品是光刻机双工件台;其他整机设备包括激光退火、硅片堆叠、扫描干涉光刻机;零部件有运动平台、EFEM、静电卡盘、隔振器等。


其核心优势在于:

1.技术先进。华卓精科的核心战略产品光刻机双工件台,打破了ASML公司在工件台?#31995;?#25216;术垄断,成为世界?#31995;?#20108;家掌握双工件台核心技术的公司。

2.完成多产品布局。基于双工件台技术,公司在激光退火、运动平台、硅片堆叠、静电卡盘、EFEM等领域均有布局,相应产品均已经从市场拿到相当数量的订单,并具备生产交付能力。据华卓精科首席科学家朱?#36132;?#38706;,运动平台收入已经超过工件台,成为公司第一大业务。

3.面临国产化替代机会,市场广阔。公司产品在激光退火、运动平台、静电卡盘、EFFM等领域均能实现国产化替代。相较于国外产品,价格至少低20%。因为公司的研发能力处于全行业顶尖位置,公司已经握有供不应求的订单,未来?#23548;?#30830;定性高。

指导|夏益军

调研|夏益军 孙婉莹 

撰写|孙婉莹

光刻机是制造集成电路的核心设备,长期被荷兰ASML公司垄断,并且高端产品对中国禁运,成为阻碍中国集成电路发展的重要障碍。

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