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未来精密之“芯”,牵动国人心——朱煜教授专访

发布人:北京华卓精科科技股份有限公司 发布时间:2018-05-18 浏?#26469;?#25968;:4382

2018年5月13日,国家重大专项02专项技术副总师、清华大学教授、博士生导师、国家万人计划首批科技创新领军人才、科技部首批重点领域超精密机械与测控创新团队负责人、北京华卓精科科技股份有限公司企业创始人、首席科学家朱煜博士及其领导的技术团队接受了北京电视台财经频道《首都经济报道》栏目专题的专题采访。采访聚焦了朱煜教授在集成电路制造装备和材?#31995;?#26041;面的长期规划、?#33455;?#21644;?#23548;运?#21644;他的团队在十七年中潜心钻研光刻机工件台技术,并取得了卓越的成就进行了大篇幅的报道。

在报道中,朱煜教授精准地总结了中国芯片制造行业核心技术受制于国外的发展现状。近日,伴随着美国制裁中兴事件的热度,中国芯片及元器件制造的问题再度引发讨论。而十七年如一日在集成电路制造装备领域钻研自主制造技术的朱煜教授认为,国产芯片制造受到制约的关键?#29301;?#29983;产芯片的装备目前还处在依靠外国技术的阶段。而国外进口相关装备,如光刻机,?#23478;?#25509;受国外审查。一旦限制出口,则对中国芯片与相关科技领域产生极大牵制。

集成电路制造核心技术只有早日实现自主化与产业化,中国芯片产业才能早日转变?#35272;?#36827;口的不良?#32622;妗?#20809;刻机?#20999;?#29255;生产线中处于核心地位的制造装备,能够让国有芯片生产行业摆脱对国外技术的?#35272;擔?#23454;现生产自主可控的集成电路,即芯片。

而在朱煜教授带领下,集成电路制造装备中最核心的装备——光刻机双工件台的相关技艺获得了技术?#31995;?#20004;个跨越。并在此技术上,瞄准国际前沿水平,再历经七年的攻关,完成了基于平面电机的双工件台技术攻关。目前,已经基本实现了在光刻方面不再受制于人。

该栏目通过对朱煜教授的?#33455;?#21382;程和成果的全面报道,展现出科技领域产学研人才在中国芯片领域的不懈努力,也展现出我国在核心技术层面的发展速?#26085;?#19981;断加快。正如朱煜教授所言:“大家埋头苦干,是可以实现核心技术的自主可控的。”


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